電容式壓力變送器使用薄膜片，通常是金屬或金屬塗層石英，作為電容器的一個板。隔膜在一側暴露於過程壓力而在另一側暴露於參考壓力。壓力的變化導致它偏轉29並改變電容。這種變化可能與壓力成線性關係，也可能不是線性關係，通常是總電容的幾個百分點。可以通過使用它來控製振蕩器的頻率或通過網絡改變AC信號的耦合來監視電容。用於信號調理的電子元件應位於傳感元件附近，以防止由於雜散電容引起的誤差。電容式壓力傳感器的原理圖如圖所示。

    電容是存儲在兩個導電板或保持相反電荷的電極之間的能量的量度。電容根據電荷強度，電極板之間的距離和板的尺寸而變化。通過保持電容器板之間的電荷不變，您可以通過測量它們之間的電壓來判斷一個板與另一個板的距離。增加流體壓力使隔膜（電極板）偏轉，關閉或增加到另一個板的距離，這會改變板之間的電荷。這種簡單的方法證明既準確又可靠，並且與使用應變儀測量壓力相比具有許多優點。

    優點：

    1、穩定：  電容式壓力變送器不依賴於中間元件（例如應變儀）來產生輸出。它們比粘合應變計元件更簡單，更可靠，因為它們不需要粘合劑，這可以通過不同的熱膨脹產生自我施加的應變。

    2、良好的兼容性： 在電容式壓力變送器中避免了集成應變變送器的介質兼容性問題，因為傳感膜（電極板）可以由不鏽鋼，陶瓷或其他化學非反應性材料構成。它們還適應各種溫度。

    3、誤差更小，精度更高：  電容元件也比應變計元件產生更強的輸出。仍然需要一些信號調節，但需要較少的放大。較小的放大意味著誤差成為輸出信號的較小部分。最終，準確性得到改善。

    4、EMI和RFI免疫：  EMI和RFI可以產生雜散場，引入控製的電信號可能與實際的變送器輸出“混淆”。與應變計元件不同，由電容型傳感元件產生的高電平輸出信號對低或中等EMI和RFI不敏感，從而保持輸出的完整性。

    5、數百萬次循環的可靠性： 電容式傳感元件還可承受數百萬次滿量程壓力循環而不影響精度，因為它們不會因使用粘合劑而受到相同的影響。

    6、壓力傳感裝置的性能受其設計和技術的影響。與應變計壓力變送器相比，電容式壓力變送器可生成高精度，穩定的EMI / RFI免疫壓力變送器，滿足性能要求。